產品介紹
概要
質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)是(shi)(shi)(shi)用來(lai)測(ce)(ce)量(liang)(liang)或(huo)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)氣體流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)一種設備。流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)一般分(fen)為體積(ji)(ji)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)和(he)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，但是(shi)(shi)(shi)氣體的(de)(de)(de)體積(ji)(ji)易受到外(wai)界的(de)(de)(de)溫度和(he)壓力(li)的(de)(de)(de)影響(xiang)，如需精(jing)確測(ce)(ce)量(liang)(liang)，需不(bu)斷的(de)(de)(de)改變測(ce)(ce)量(liang)(liang)條(tiao)件(jian)來(lai)配合不(bu)斷改變的(de)(de)(de)外(wai)界環境(jing)。而質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)，是(shi)(shi)(shi)利(li)用測(ce)(ce)量(liang)(liang)氣體的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)，而質(zhi)量(liang)(liang)是(shi)(shi)(shi)不(bu)受外(wai)界的(de)(de)(de)環境(jing)的(de)(de)(de)影響(xiang)，從而可(ke)以提(ti)供高精(jing)度流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)檢測(ce)(ce)和(he)控(kong)(kong)制(zhi)(zhi)，且在(zai)半導體制(zhi)(zhi)造制(zhi)(zhi)程有廣(guang)泛的(de)(de)(de)使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中(zhong)使用的質量流(liu)量控制器(qi)。
適(shi)用(yong)于高溫(wen)：可滿足(zu)150℃烘焙產(chan)品(pin)陣容中(zhong)有可滿足(zu)使(shi)用(yong)溫(wen)度的(de)產(chan)品(pin)型(xing)號(hao)超(chao)清潔類型(xing)：接(jie)氣(qi)部全(quan)不銹鋼(gang)構造最適(shi)于MOCVD用(yong)有機金屬材(cai)料、低蒸氣(qi)壓材(cai)料、腐蝕性(xing)氣(qi)體的(de)流量控制
規格參數
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SEC-8340SL 搭載(zai)有主體(ti)加溫加熱器(qi) |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使(shi)用溫度：80?100℃ |
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SEC-8340SM 本體加溫(wen)ヒータ搭載 |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量(liang)程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫(wen)度：100?120℃ |
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SEC-8440LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量(liang)程(cheng)) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8450LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使(shi)用溫度：15?35℃ |
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SEC-8455LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用(yong)溫度：15?35℃ |
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SEC-8460LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通電(dian)時：開(kai) |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8440LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時：開(kai) |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用(yong)溫度(du)：35?60℃ |
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SEC-8450LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量(liang)程) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8455LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使(shi)用溫度：35?60℃ |
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SEC-8460LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫(wen)度：35?60℃ |
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SEC-8440LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度(du)：60?80℃ |
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SEC-8450LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通(tong)電時：開(kai) |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使(shi)用溫度(du)：60?80℃ |
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SEC-8455LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8460LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開(kai) |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8440SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8450SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開(kai) |
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標準流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用溫度(du)：80?100℃ |
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SEC-8455SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量(liang)程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用(yong)溫度：80?100℃ |
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SEC-8460SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8440SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使用溫(wen)度：100?120℃ |
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SEC-8450SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通(tong)電時：開 |
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標準流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量(liang)程(cheng)) 使用溫(wen)度：100?120℃ |
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SEC-8455SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量(liang)程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8460SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫(wen)度：100?120℃ |
