SmartTrak 50系(xi)列經過(guo)優化，具(ju)有長期過(guo)程(cheng)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)應(ying)用(yong)所需的(de)(de)(de)(de)穩定性、可靠性和(he)操作(zuo)簡單性，以經濟的(de)(de)(de)(de)價(jia)格提(ti)供高精度和(he)可靠的(de)(de)(de)(de)氣體質量(liang)流量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)。max流量(liang)范(fan)圍從50 slpm增(zeng)加(jia)到200slpm。這使(shi)(shi)得它非常適合(he)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)晶(jing)圓(yuan)清潔和(he)拋光操作(zuo)中使(shi)(shi)用(yong)的(de)(de)(de)(de)載氣，或PVD和(he)其他半導體操作(zuo)中的(de)(de)(de)(de)吹掃控(kong)(kong)(kong)制(zhi)。它還擅長一般應(ying)用(yong)中常見氣體的(de)(de)(de)(de)質量(liang)流量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)。模擬(ni)和(he)數(shu)字(zi)輸入和(he)輸出(chu)均可用(yong)，使(shi)(shi) 50系(xi)列能(neng)夠與(yu)較舊的(de)(de)(de)(de)模擬(ni)系(xi)統或新的(de)(de)(de)(de)多(duo)點數(shu)字(zi)工具(ju)一起使(shi)(shi)用(yong)。零位和(he)跨(kua)度的(de)(de)(de)(de)現(xian)場調整使(shi)(shi)校準中的(de)(de)(de)(de)小調整能(neng)夠與(yu)現(xian)場過(guo)程(cheng)保持一致條件。

• 控制氣體質量流量至 200 slpm (nlpm)
• 針對長期過程控制優化的穩定性和可靠性
• 非常適合控制晶圓清潔和拋光操作中使用的載氣
• 廣泛用于物理氣相沉積 (PVD) 和其他半導體工藝應用的腔室吹掃操作
• 精度：普通氣體（空氣、Ar、CO2、CO、CH4、He、H2、O2、N2）的 +/- 1.0% 滿量程
• 重復性：+/- 0.25% 滿量程
• 先進的 316L SS 鉑傳感器技術和專利 LFE 提供良好的線性性能
• 鋁或 316 SS 流動體，帶 Viton 彈性體
• 帶有可選模擬設定值/輸出信號的本地顯示和數字設定值控制
• RS-232 與 PLC 或工作站輕松連接（提供用戶軟件）
• 現場可調零位和跨度
• RS-485（可尋址）支持在復雜半導體工具內聯網
• 強大的直動式控制閥可max限度地減少泄漏

• 精度：滿量程的 +/- 1.0%，包括在 32° 至 122°F（0° 至 50°C）和 5 至 145 psig（0.3 至 10 barg）的校準條件下的線性度，適用于常見氣體：空氣、Ar、CO2 、CO、CH4、He、H2、O2、N2。
• 重復性：+/- 0.25% of full scale
• 溫度系數：0.025% of full scale per°F（0. 05% of full scale per °C）或更好
• 壓力系數：0.01%of full scale per psi（0.15% of full scale per bar）或更好
• 響應時間：2 秒（典型值）到終值的 +/- 2% 以內，包括設置時間。50系列可調整為更快或更慢（咨詢工廠）