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美國Brooks Instruments高溫質量流量控制器5850EMH特點優勢
高溫熱質量流量控制器和儀表
具有挑戰性的高溫應用的很高純度的流動路徑。
當今許多先(xian)進的(de)(de)電(dian)子器件制(zhi)造工藝的(de)(de)要求(qiu)非(fei)常準(zhun)確和(he)高(gao)度可重復的(de)(de)測量和(he)昂貴的(de)(de)超純氣體(ti)和(he)液體(ti)前體(ti)的(de)(de)控(kong)(kong)制(zhi)。布魯克(ke)斯儀器符合我(wo)(wo)們的(de)(de)高(gao)溫金屬封閉熱質量流量控(kong)(kong)制(zhi)器和(he)儀表這些需求(qiu)。精(jing)(jing)確的(de)(de)化(hua)學控(kong)(kong)制(zhi)是通過超穩定，高(gao)精(jing)(jing)度測量傳(chuan)感器，快速(su)精(jing)(jing)密(mi)控(kong)(kong)制(zhi)閥和(he)強(qiang)大的(de)(de)數字電(dian)子產品(pin)的(de)(de)組(zu)合來實現(xian)。工藝化(hua)學純度是由我(wo)(wo)們的(de)(de)高(gao)完整性（漏緊）保證，超高(gao)純度，全金屬潤濕流路，旨(zhi)在保持外污染物，如(ru)水分和(he)氧氣從(cong)破壞工藝介質。

主要應用領域
光纖制造 - MCVD
硅半導體裝置的制造工序的
CVD（蒸氣形式前驅體傳輸）
條（水蒸氣）
蝕刻（鈍化水蒸氣）
5850EMH系列高溫質量流量控制器
成熟的長期穩定性。超純性能用于高溫應用。
型號5850EMH / 5851EMH
提供的高溫氣體的測量和控制的先進的性能，布魯克斯儀器的5850EMH系列高溫金屬密封質量流量控制器具有多種選項，允許最大的應用靈活性結合了金屬密封件優秀泄漏完整性。所述5850EMH系列的心臟是高度穩定的傳感器，其提供了與流量的電輸出信號線性的。這個信號用于指示，而不需要一個自動置零電路的記錄和/或控制目的。
特征
高泄漏完整性（小于10-11 Pa.m3 /秒（10-10 atm.cc/s）他）
寬流量范圍（0.003 - 100 SLPM）
高純度的VAR 316L不銹鋼
顆粒無
氦氣泄漏檢查口
常閉閥（常開閥可選）
電致動控
低命令流量切除
TTL兼容“閥關”功能
優點
穩定，成熟的產品平臺
高流量能力可達100 LPM（N2當量）
全金屬流動路徑增強了氣體純度，并減少泄漏
易于安裝和使用僅限于模擬輸入/輸出服務
應用
光纖制造 - MCVD，OVD，AVD
水蒸氣流控制
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。
上海連航機電科技有限公司是國內專業的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工業科技發展步伐，保障全產業鏈一體化工業服務水平，連航分別在德國和美國設有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進工業品與工業技術大規模引進的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產品集散帶來的二度成本壓縮，連航擴大了在業內的優勢，終端服務效率與水平與日俱增。