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美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器5850EM產品規格

產品型號質量流量控制器
微分
龐大的客戶群與成熟的長期表(biao)現

性能
流量范圍（滿量程容量）0.06 SCCM - 30000 SCCM
準確性
1％F.S.含。線性度

1.5％F.S.含。線性度> 20 SLPM

重復性
率的0.2％的

線性度
±0.5％F.S. （包括精度）

響應時間
常閉閥：<3秒

可選：600毫秒

多氣體和范圍可配置
-

壓力瞬變不敏感 -
控制范圍
2-3％ - 100％

箱數
N / A

閥門關閉
N / A

零點穩定性<±0.5％F.S.每年
機械
密封材料金屬
純度水平/表面處理
316L VAR，316L，和高合金鐵素體不銹鋼

接液材料
閥座：316L，Viton®氟，丁腈橡膠，或的Kalrez®特氟隆

閥選
常閉，常開

計（無閥）

評級
很高溫度65℃
差壓量程
5 - 50磅（天然氣和范圍而定）

最大壓力
1500 PSI

泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能 -

狀態指示燈MFC健康，網絡狀態
警報
控制閥輸出，網絡中斷

診斷/服務端口
N / A

 

電動
模擬通信
4-20毫安

0-5伏

數字通信
-

電氣連接
15針D型接口（DA-15P）

電源/功耗
常閉閥：3.25瓦特

常開閥：10.5瓦特

合規
EMC
每61326（89/336 / EEC）

環境合規性
N / A
0.06 SCCM - 30000 SCCM

10 - 100 SLPM氮
表面光潔度
5鐳內部完成（可選）

電解濕潤表面（可選）

電解濕潤表面（可選）

增強的過程（5鐳平均）的內表面（可選）

高純度VAR 316L不銹鋼

準確性
1％F.S.包括線性度

1.5％F.S.包括線性度（> 20 SLPM）

1％F.S.包括線性度

重復性
0.25％利率

0.2％的速率

響應時間
常閉閥

<3秒

常閉閥

<3秒

多氣體和范圍可配置
N / A

N / A

壓力瞬變不敏感
每psi氮0.008％

每psi到150 psig的0.03％

診斷能力
MFC健康，網絡狀態

MFC健康，網絡狀態

模擬通信
4-20毫安

0-5伏

4-20毫安

0-5伏

數字通信
N / A

 

現場總線

RS485 S-協議

RS485 L-協議

的DeviceNet?
上海連航機電科技有限公司是國內專業的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
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