美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器GF80產品規格
產品類別
質量流量控制器
微分高純度
性能
流量范圍(滿量程容量)3 SCCM - 300 SLM
準確性
±1%S.P. 35-100%
±0.35%F.S. <5-35%
重復性<±0.2%S.P.
線性度
±0.5%F.S. (包括精度)
響應時間
常閉閥:<1秒
多氣體和范圍可配置MultiFlo?可用
壓力瞬變不敏感 -
控制范圍
<5% - 100%
箱數
標準GF系列:11箱
高流量GF系列:4箱
閥門關閉
標準GF系列:<1%F.S.
高流量GF系列:<標準配置F.S.的4% @ 30psig / ATM出N2當量。
零點穩定性<±0.5%F.S.每年
機械
密封材料金屬
純度水平/表面處理16μ英寸鐳
接液材料
316不銹鋼
哈氏合金C-22
17-7 PH
430SS
KM-45
閥選
常閉
計(無閥)
評級
很高溫度50℃
差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID
861-7200 SCCM = 15-45 PSID
7201-50000 SCCM = 25-45 PSID
51-300 SLM = 30-90 PSID
(典型壓降)
最大壓力
標準GF系列:150 PSIG(10條)
高流量GF系列:米= 75 PSIG(5桿),控制器= 150表壓(10巴)
泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用
狀態指示燈MFC健康,網絡狀態
警報
控制閥輸出,網絡中斷
診斷/服務端口
通過2.5毫米接口RS485(所有型號)
電動
模擬通信
0-20毫安
4-20毫安
0-5伏
0-10伏直流
數字通信
的DeviceNet?
PROFIBUS®
RS485 S-協議
RS485 L-協議
RS485 A-協議(GF081)
電氣連接
通過9針“D”連接器PROFIBUS /模擬
通過9針“D”連接器,15針“D”連接器RS485 /模擬
的DeviceNet?通過5針“M12”連接器
電源/功耗
標準GF系列:RS485從+12伏至+24 VDC = 7瓦最大
PROFIBUS從+13.5 Vdc至+27伏= 7瓦最大
的DeviceNet?從+11 Vdc至+ 25V = 13.6瓦最大
高流量GF系列:RS485從+12伏至+24 VDC = 3.3瓦最大
PROFIBUS從+13.5 Vdc至+27伏= 3.3瓦最大
的DeviceNet?從+11 Vdc至+ 25V = 3.3瓦最大
合規
EMC
CE:EN6126:2006(FCC第15部分和加拿大IC子集CE測試)
環境合規性
安全EN61010-1
RoHS指令
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