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美國布魯克斯Brooks Instruments熱質量流量控制器GF80 / GF81特點應用

閱讀次數:1809    發布時間: 2016-05-19 09:32:00

美國布魯克斯Brooks Instruments熱質量流量控制器GF80 / GF81特點應用
GF80系列采用金屬密封的熱質量流量控制器和儀表提出了在價值驅動的金屬密封應用的性能標準。
對于許多工業和半導體工藝,性能和成本效率是至關重要的。該GF80系列金屬密封質量流量控制器和儀表提供兩種:使用相同的快速響應傳感器和專利的第四代MultiFlo?技術作為我們最暢銷的GF100系列工程,它是,在一個價值的價格點需要高性能運算的正確選擇。移動到密封的MFC的金屬帶來MultiFloTM多氣體/多范圍能力的全部優點,因為有在氣體沒有限制,可以使用的,氣體的,由于通過彈性體透氧消除增強純度,并在還原因為金屬密封件的維修將持續下去。

特點
每年<±0.5%滿量程長期零點穩定性
<1秒的穩定時間
滿量程流量可達300 SLPM
全金屬密封流動路徑 - 16μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏傳感器可以在較低溫度下為氣體容易發生熱分解操作
可編程MultiFloTM能力酮裝置,數千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
通過積極的溫度補償很佳的的溫度系數規格
嵌入式自測程序和獨立的診斷/服務端口
超薄機身采用VCR接頭
DeviceNetTM,PROFIBUS®,RS-485和模擬接口
優點
快速<1秒流量穩定時間浪費消除氣體和工藝可變性
沒有彈性體密封,可以有透氧,需要更換隨著時間的推移
MultiFloTM簡化和優化改變工藝氣體 - 沒有更多的拆除和微生物燃料電池校準
新的氣體和/或范圍可以在60秒內設置在
測量精度不受溫度變化
方便地訪問診斷端口最大正常運行時間
緊湊的尺寸簡化融入緊機位;為改造選擇
多協議通信接口簡化集成到現有系統
應用
高性價比改造/翻新中的半導體工藝工具遺留的MFC升級
減少六英寸/八英寸晶圓廠半導體庫存MFC
MOCVD的LED和功率器件制造
太陽能/薄膜化學氣相沉積(CVD)系統的
分析OEM設備
美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗,Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(壓力控制器、壓力表、壓力變送器等)。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。
上海連航機電科技有限公司是國內專業的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件,提供過程控制技術咨詢,工業自動化集成設計與改造,成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等,歡迎來電咨詢。
為緊跟工業科技發展步伐,保障全產業鏈一體化工業服務水平,連航分別在德國和美國設有公司和倉儲中心,自此建立了對歐美先進工業品與工業技術大規模引進的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產品集散帶來的二度成本壓縮,連航擴大了在業內的先進優勢,終端服務效率與水平與日俱增。


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