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美國布魯克斯Brooks Instruments熱質量流量控制器(qi)GF100產品規格

微分
高純度/超高純度

標準GF系列

高流量GF系列
性能
流量范圍（滿量程容量）
標準GF系列：3 SCCM - 55 SLM
高流量GF系列：55 SLM - 300 SLM
準確性
±1％S.P.> 35-100％
±0.35％F.S. 2-35％
重復性<±0.15％S.P.
線性度
±0.5％F.S. （包括精度）
響應時間
常閉閥：700毫秒 - <1秒
SDS氣體輸送：<3秒
響應時間
常開閥：<1.5秒（具體型號）
多氣體和范圍可配置MultiFlo?標準（大部分機型）
壓力瞬變不敏感 -
控制范圍
標準GF系列：<3-100％
高流量GF系列：5-100％
箱數
標準GF系列：11箱
高流量GF系列：4箱
閥門關閉
標準GF系列：<2％F.S.
高流量GF系列：<2％F.S. @ 30 N2 PSIG / ATM出
零點穩定性<±0.5％F.S.每年
流量溫度系數
跨度：每攝氏度0.05％S.P.
零：0.005％F.S.每攝氏度

機械
密封材料金屬
純度/表面的水平完成4 - 10μ英寸鐳
接液材料
SEMI F20高壓/超高壓兼容
316L VIM / VAR
哈氏合金C-22
316L不銹鋼
304不銹鋼
KM-45
閥選
常閉
常開（僅限特定型號）
計（無閥）
評級
很高溫度50℃
差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID
861-7200 SCCM = 10-45 PSID
7201-55000 SCCM = 15-45 PSID
51 SLM-300 SLM = 30-90 PSID

最大壓力
標準GF系列：500 PSIA最大

高流量GF系列：75 PSIG（控制器），150 PSIG（米）
泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用

狀態指示燈
MFC健康

網絡狀態
警報
控制閥輸出

網絡中斷
診斷/服務端口
通過2.5毫米插孔RS-485（所有型號）

顯示
頂部安裝集成LCD

可視角度：固定
視距：10英尺
單位顯示：流量（％），溫度（℃），壓力（PSIA，千帕）
分辨率：0.1（單位）

電動
模擬通信
0-5伏

數字通信
的DeviceNet?
RS485 L-協議

電氣連接
模擬/ RS485通過9針“D”連接器的DeviceNet?通過5針“M12”連接器提供各種線纜適配器。有關更多信息，請參見產品數據表。

電源/功耗
模擬/ RS485 l協議：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流電
（在典型的操作條件下）

合規
EMC
EC指令2004/108 / EC
CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE測試）

環境合規性
RoHS指令（2011/65 / EU）
REACH指令EC 1907/2006
上海連航機電科技有限公司是國內專業的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工(gong)(gong)業科(ke)技(ji)發展步伐，保障全(quan)產業鏈一(yi)體化工(gong)(gong)業服務(wu)水平，連航分別在德國和(he)美(mei)國設有公司和(he)倉(cang)儲中心，自(zi)此建立了對歐(ou)美(mei)先(xian)進工(gong)(gong)業品與工(gong)(gong)業技(ji)術大(da)規模引進的高速通道(dao)。憑(ping)借的全(quan)球采(cai)購(gou)能(neng)力和(he)工(gong)(gong)廠直采(cai)加(jia)產品集(ji)散帶(dai)來的二度(du)成本壓縮(suo)，連航擴大(da)了在業內(nei)的先(xian)進優勢，終端服務(wu)效率(lv)與水平與日(ri)俱增。