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美國Brooks Instruments布魯克斯流量控制器GF100的特征和優點
GF100系列采用金屬密封的熱質量流量控制器和儀表
高純度的流動路徑。出色的性能，可靠性和可重復性。
型號GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
快速響應工藝氣體的高和超高水平的，可重復的遞送純度-這就是GF100系列金屬的密封質量流量控制器和儀表提供的性能。設計用于半導體，MOCVD等氣體流量控制的應用中，GF100系列超過可靠性半導體工業標準，以確保可重復的，隨著時間的推移表現高度穩定。標準MultiFloTM技術使一個MFC支持數千個氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線移除或犧牲精度。
其(qi)結(jie)果是：提(ti)高(gao)過程的靈活性和(he)效(xiao)率(lv)同(tong)行業(ye)的工藝氣體純度很高(gao)水平結(jie)合(he)起來，幫助(zhu)最大(da)限度地提(ti)高(gao)產量和(he)生產效(xiao)率(lv)。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點穩定性
建立時間：700毫秒 - <1秒
滿量程流量可達300 SLPM
全金屬密封流動路徑：選項4μ或10μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏合金T-上升傳感器提高了在高溫下測量的可重復性
MultiFloTM氣體和范圍的可編程酮裝置，數千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
本地顯示
可選SDS氣體輸送
DeviceNetTM，RS-485 L-協議和模擬接口
優點
高性能組件馬拉松測試七次半導體行業標準的可靠性
全金屬，耐腐蝕流量降低的表面積和體積的未波及路徑，確保在清洗步驟，更快干下來
與MultiFloTM，新工藝氣體和/或范圍可被設置在在60秒 - 沒有更多的去除和校準微生物燃料電池
高度可配置平臺使直接替換升級和大多數品牌的金屬封閉微生物燃料電池，包括前迅捷，Mykrolis公司，Tylan和單位品牌
GF120安全輸送系統（SDS®）是布魯克斯的國家的很先進的低壓降質量流量控制器子大氣的安全傳輸系統的交付種植和蝕刻工藝中使用（SDS）氣體
方便用戶的顯示和獨立的診斷/服務口岸艾滋病設備安裝，監控和故障排除
應用
半導體蝕刻工具
薄膜的化學氣相沉積系統（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
物理氣相沉積（PVD）系統
外延工藝系統
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美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。