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美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器GF125系列特性
GF125系列采用金屬密封的熱質量流量控制器和儀表擁有這一切的MFC。
超快速的響應時間和純度的很高水平 - 的GF125系列的第二代多變量，壓力瞬變不敏感（PTI），金屬密封質量流量控制器和儀表。帶上PTI質量流量控制技術，市場，GF125最小化處理氣流的變化，由于壓力和溫度的波動。標準MultiFlo?技術使一個MFC支持數千個氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線移除或犧牲精度。
其結果(guo)是：小型，低(di)成本氣板，通過消除(chu)使用壓力(li)調節器(qi)，壓力(li)傳感器(qi)點的需(xu)要，和(he)相(xiang)關硬件(jian)，具(ju)有業(ye)界很佳(jia)的PTI性能相(xiang)結合，以最大限度地提高(gao)產量和(he)生產效率。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點穩定性
超快速建立時間：300毫秒 - <700毫秒
滿量程流量可達300 SLPM
超高純度流動路徑 - 4μ寸鐳表面光潔度
SEMI F20標準的濕材料
高速ARM處理器耐腐蝕哈氏合金T-崛起傳感器
快速作用，無隔膜閥組件是由壓力差的影響，并且測試了超過七百萬次循環沒有發生任何故障
何首烏技術提供了無與倫比的靈活性，一臺設備可以設置為成千上萬種不同氣體和流量范圍的配置，而不??從氣體行移除MFC或影響精度
當地顯示指示流量，溫度，壓力和網絡地址用于氣體供給和隔離閥問題的簡單的故障診斷
可選的高精度配置
DeviceNetTM，RS-485 L-協議和模擬接口
優點
通過與快動膜片免費閥組件結合布魯克斯的專利流量傳感器技術，GF125系列比起來其他質量流量控制器可提供3倍的速度響應和穩定時間
對于改善的干式優化濕潤流路
與MultiFloTM，MFC滿刻度流量范圍可以被重新按比例縮小通常由3倍：1與由規格上精度，量程或泄漏沒有影響，對于很佳的工藝和庫存靈活性
一個完整的數據庫氣體提供最廣泛的工藝氣體覆蓋
壓力瞬變不敏感（PTI）功能，克服了強烈的反應，小進氣壓力波動傳統的微生物燃料電池的限制。其結果是穩定的性能和可預測的準確性。
GF125高精度（HA）具有卓越的低精度的設定值能夠與一個替代兩個（高，低流量）質量流量控制器，提供了直接的成本節省，同時釋放氣體線更大的氣體面板的靈活性。
方便用戶的顯示和獨立的診斷/服務口岸艾滋病設備安裝，監控和故障排除
主要應用
半導體
MOCVD
需要高純度的全金屬流路的氣體流量控制應用
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。
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