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美國布魯克斯Brooks Instruments質量流量控制器性能參數
流量范圍（滿量程容量）
3 SCCM - 5 SLM（N2當量）

壓力瞬變不敏感
<1％S.P.長達5磅/秒的上游按下。穗

準確性
±1％S.P. 10-100％F.S.

±1％S.P.加(jia)上±0.04％F.S. 2-10％F.S.‘

重復性<±0.15％S.P.
線性度
包括在精度

響應時間
<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以內，FS）

<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以內，FS）

<300毫秒（<860 SCCM N2當量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當量）

（到±2％以內，FS）

多氣體和范圍可配置
-

控制范圍
1 - 100％

閥門關閉
<F.S. 0.5％ N2

零點穩定性<±0.5％F.S.每年
流量溫度系數
跨度：0.05％S.P./°C

零：0.005％F.S./°C

機械
密封材料
金屬

純度/表面處理4μ英寸鐳水平
接液材料
SEMI F20 HP標準

316L VIM / VAR

哈氏合金C-22

316L不銹鋼

304不銹鋼

KM-45

閥選
常閉

評級
很高溫度
50℃

差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID

861 - 5000 SCCM = 10-45 PSID

*典型壓降。聯系方式布魯克斯技術支持以獲取更多信息。

最大壓力
100 PSIA最大

泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用

狀態指示燈
MFC健康

網絡狀態

警報
傳感器輸出，控制閥輸出，超溫，防浪涌電源/凹陷，網絡中斷，傳感器漂移，流錯誤，閥門泄漏

診斷/服務端口
通過2.5毫米接口RS485

顯示
頂部安裝電子旋轉的整合LCD

可視角度：固定

視距：10英尺

單位顯示：流量（％），溫度（℃），壓力（PSIA，千帕）

分辨率：0.1（單位）

電動
模擬通信
0-5伏

數字通信
的DeviceNet?

RS485

電氣連接
模擬/ RS485通過9針“D”連接器

的DeviceNet?通過5針“M12”連接器

電源/功耗
模擬/ RS485：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）

的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流電

（在典型的操作條件下）

合規
EMC
EC指令2004/108 / EC

CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE測試）

環境合規性
RoHS指令（2011/65/2006）

REACH指令EC 1907/2006

美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。

上海連航機電科技有限公司是國內專業的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工業科技發展步伐，保障全產業鏈一體化工業服務水平，連航分別在德國和美國設有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進工業品與工業技術大規模引進的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產品集散帶來的二度成本壓縮，連航擴大了在業內的先進優勢，終端服務效率與水平與日俱增。